پژوهش های نوین فیزیک، جلد ۱، شماره ۱، صفحات ۴۱-۵۰
عنوان فارسی بررسی تجربی ثابت‌های اپتیکی ویفرسیلیکان با استفاده از طیف بازتاب نور در بازۀ ‌انرژی eV ۵-۲
چکیده فارسی مقاله در این مقاله ضریب شکست، ضریب جذب و ثابت‌های دی‌الکتریک ویفر سیلیکان نوع p  با جهت (100) با استفاده از طیف بازتاب نور از سطح سیلیکان به‌طور تجربی بررسی شده است. بررسی خواص اپتیکی این ویفر که به‌عنوان زیرلایۀ موج‌بر نوری استفاده می‌شود اهمیت ویژه‌ای دارد. ثابت‌های اپتیکی ویفر سیلیکان با استفاده از روش کرامرزکرونیگ و داده‌های تجربی طیف بازتاب، محاسبه ‌شده و سپس نتایج با داده‌­های چند مرجع مقایسه شده است. نتایج، توافق خوبی بین ثابت‌های اپتیکی مراجع و داده‌های تجربی طیف بازتاب و محاسبه شده برای نمونۀ موجود در آزمایشگاه به روش کرامرز-کرونیگ وجود دارد.
کلیدواژه‌های فارسی مقاله ثابت‌های اپتیکی، ویفر سیلیکان، طیف بازتاب، روش کرامرز - کرونیگ.
عنوان انگلیسی Experimental Analysis of Optical Constants of Silicon Wafer by Reflection Spectrum in the Energy Range of 2-5 eV
چکیده انگلیسی مقاله In this paper reflection index, absorption coefficient and optical constants of p-type silicon wafer with (100) orientation have been experimentally studied by using reflection spectrum from silicon surface. This wafer has been used as a substrate for fabrication of waveguide, so its optical properties have certain importance. In this paper, optical constants of Si wafer is calculated by using Kramers-Kronig method and reflection spectrum experimental data and then our results are compared with some references. The results have good agreement between optical constants of the references and reflection spectrum experimental data and calculated for existence sample in the Lab by using Kramers-Kronig method.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله
نویسندگان مقاله طاهره سادات سیدی آرانی | tahereh sadat seyedi arani


فاطمه شهشهانی | fatemeh shahshahani


رضا ثابت داریانی | reza sabet dariani


بتول سجاد | batoul sajad


سیده زهرا شورشینی | seyedeh zahra shoorshini


نشانی اینترنتی http://jmrph.khu.ac.ir/browse.php?a_code=A-10-32-1&slc_lang=other&sid=fa
فایل مقاله فایلی برای مقاله ذخیره نشده است
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده fa
موضوعات مقاله منتشر شده تخصصی
نوع مقاله منتشر شده پژوهشی
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات